关于芜湖芯通半导体材料有限公司半导体部件清洗再生项目环境影响报告表的批前公示

项目名称：

半导体部件清洗再生项目

建设单位：

芜湖芯通半导体材料有限公司

公示日期：

2022.7.19-2022.7.26

项目概况：

项目地址位于安徽芜湖三山经济开发区芜湖芯通半导体材料有限公司现有厂区内，在清洗生产车间内设独立的封闭操作间，新增浸蚀槽、清洗槽、酸洗槽、熔射机等设备，建设半导体部件清洗和再生生产线，新增年清洗和再生硅电极2400套、硅环12000套、石英件19500套的产能。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：

1、地表水环境：项目酸碱废水和含氟清洗废水经现有酸碱废水处理单元（处理工艺为“化学反应+混凝沉淀”）预处理后与清洗废水、车间保洁废水一同经现有综合废水处理系统（处理工艺为“pH调节+二级厌氧/好氧+MBR膜”）处理，生活污水经厂区现有化粪池处理。

2、大气环境：切实落实现行大气污染防治环境管控要求。酸雾废气经封闭操作间+操作工位设置软帘+设备自带集气口收集后经一套碱液喷淋洗涤塔处理后于1根15m高排气筒排放（DA004）；熔喷室密闭作业，熔射机产生的熔射废气经集气管道收集后经1套滤筒除尘器处理后于1根15m排气筒排放。颗粒物、硫酸雾、氯化氢、氟化物排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中相应的标准限值要求。污染治理设施正常运行。排放口符合规范化设置要求。

3、声环境：选用低噪设备，合理安排施工机械安放位置和施工时间，并针对性采取隔声、消声、减振、距离衰减等措施降低噪声.

4、固体废物：建设一般固废暂存库，一般固废经收集后，暂存于固废仓库，收集后外售；危险废物储存于危废仓库内，定期交由有资质单位处置。生活垃圾交由环卫部门统一清运。

5、环境风险：强化环境风险防范和应急措施。

公众反馈意见的联系方式

受理部门：

驻芜湖市市民服务中心生态环境窗口

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通讯地址

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